三坐標(biāo)光柵尺測量系統(tǒng)

光柵尺測量系統(tǒng)是三坐標(biāo)測量機(jī)重要測量組成部分之一，三坐標(biāo)光柵尺測量系統(tǒng)大致分為兩類，金屬反射光柵和玻璃透射光柵。

金屬反射光柵尺，是在金屬的鏡面上制成全反射或漫反射并間隔相等的線紋，稱作反射光柵。

玻璃透射光柵，在玻璃的表面上制作透明雨不透明間隔相等的線紋，可制成透射光柵。

三坐標(biāo)光柵尺測量系統(tǒng)的工作原理：

光柵上刻有等間隔排列又能透過光線的細(xì)小的狹縫，如果把這樣兩個(gè)光柵一個(gè)固定在三坐標(biāo)測量機(jī)上（標(biāo)尺光柵），一個(gè)可以隨工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)(稱為指示光柵)，并使兩者相互錯(cuò)開一個(gè)角度θ疊合在一起，在“標(biāo)尺光柵”與“指示光柵”的細(xì)小狹縫相交區(qū)域，透射光可以全部通過，便形成“亮區(qū)”；而在非相交部分，由于透射光被遮擋而形成“暗區(qū)”。這樣，在光柵的垂直方向上就可以形成明暗相間的條紋，這種條紋被人們稱為“莫爾條紋”。

光柵副（標(biāo)尺光柵與指示光柵）沒相對移動(dòng)一個(gè)柵距，莫爾條紋移動(dòng)一個(gè)節(jié)距。莫爾條紋是由數(shù)百條光柵刻線共同形成的，因此它對光柵的刻線誤差有平均作用，提高了位移檢測精度。

光柵測量系統(tǒng)在三坐標(biāo)測量機(jī)中是應(yīng)用最廣的一種測量系統(tǒng)。這是因?yàn)樗性S多優(yōu)點(diǎn)，如光柵尺體積小，制造容易，安裝比較方便，測量精度較高，所得到的光電信號容易細(xì)分。但在三坐標(biāo)保養(yǎng)維護(hù)時(shí)光柵尺怕油污和灰塵，一定要注意光柵尺的保養(yǎng)時(shí)要注意車間要無塵，不要用手隨意摸光柵尺。

三坐標(biāo)測量機(jī)：